安捷伦 VacIon Plus 150 L/s Starcell 是实现超高真空安捷伦溅射离子泵，是一款专为UHV和XHV两种真空环境设计的高性能真空获得设备。该泵采用 6 英寸 CFF (NW100) 抽气口法兰，以适中的外形尺寸提供 150 L/s 的氮气抽速，广泛应用于需要稳定超高真空条件的科研实验室与工业场景。

一、产品概述

安捷伦 VacIon Plus 150 L/s Starcell 离子泵是一款实现超高真空安捷伦溅射离子泵。该泵采用 6 英寸 CFF (NW100) 抽气口法兰，以适中的外形尺寸提供 150 L/s 的氮气抽速，广泛应用于需要稳定超高真空条件的科研实验室与工业场景，艾禾真空有现货发送。

二、核心参数与技术特点

基础性能参数：

抽速（StarCell）：氮气 125 L/s，氩气 80 L/s

工作寿命：80,000 小时

最大启动压力：≤5×10⁻² mbar

最高烘烤温度：350 °C

真空高压接头类型：Fischer（可选 SHV 型号）

磁体类型：铁氧体

StarCell 抽气单元技术优势：

StarCell 是安捷伦三极离子泵元件的技术变体，其对惰性气体的处理能力比 Noble Diode 高出一个数量级，同时对氢气的抽速与标准 Diode 相当。该元件对甲烷、氩气和氦气具有最高的抽速和容量。对于气体成分不确定的应用场景，StarCell 是最佳通用选择。

可选配置：

该泵提供 Slim 窄机身和 Double Ended 双进气口两种特殊构型，以适应不同空间的安装需求-。同时可选配高压离子泵电缆（7 m，控制器侧与泵侧均为 Fischer 接头，抗辐射型）。如需进一步提升抽速，可选择 CombiTSP 复合泵版本——集成了 VacIon 150 L/s 离子泵、TSP 泵芯和 TSP 低温挡板，可在相同体积下提高抽气效率，实现超高真空安捷伦溅射离子泵。

三、典型应用场景

该泵适用于需要UHV和XHV两种真空条件的各类场景，主要包括：

1、表面科学：如表面分析、扫描探针显微镜等对背景真空度要求高的研究

2、纳米技术与材料科学：薄膜制备、纳米器件制造过程中的真空保障

3、分子束外延（MBE） ：10⁻⁸ ~ 10⁻¹⁰ mbar 区间的高精度真空需求

4、高分辨电子显微镜：确保电子束路径的洁净真空环境

5、粒子物理与高能物理研究：加速器、探测器等大型实验装置的真空系统

6、低温物理实验：如低温 STM 等需要超高真空的低温研究

四、选型建议

选型时需综合考虑以下三个核心要素：

1. 按真空度需求选型

10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ mbar 区间：常规表面分析、小型镀膜，可选 VacIon Plus 20 或 55

10⁻⁸ ~ 10⁻¹⁰ mbar 区间：MBE、高分辨电镜、低温 STM，推荐 VacIon Plus 150 或 300

XHV真空（<10⁻¹⁰ mbar）：建议搭配 Noble Diode 或 TSP 复合泵配置

2. 按腔体容积估算

粗略公式：腔体容积（L）× 1.5 ~ 2 = 建议离子泵抽速（L/s）。例如 100L 腔体推荐 150 L/s 型号。若腔体内有大量放气材料，抽速需翻倍预留。

3. 按气体种类选择抽气单元

不确定气体成分 →  StarCell（综合性能最佳）

含大量氩气、氦气等惰性气体 → StarCell 或 Noble Diode

纯活性气体、极少破空 → Diode

4. 流导与接口

在腔体法兰允许范围内，尽量选择最大口径的泵——抽速受限于法兰流导。该泵配备 6 英寸 CFF 法兰，适用于大口径真空系统。

五、操作注意事项

1. 高压极性（极易出错）

StarCell 泵需使用负高压（-） ，而 Diode / Noble Diode 需正高压（+），极性接反会导致泵无法正常工作或损坏控制器。

2. 启动压力

必须在前级泵将系统真空抽至 ≤5×10⁻² mbar 后方可开启离子泵高压。严禁在大气下启动高压，否则会瞬间拉弧烧毁高压馈入组件。

3. 磁铁操作

VacIon Plus 磁铁磁场强（>1000 Gauss），安装或拆卸泵体连接螺栓时须先取下磁铁组，否则强磁场会吸附工具，极易打碎内部陶瓷绝缘件。

4. 烘烤规范

泵体区域 ≤ 350°C，磁铁区域 ≤ 250°C（过高会导致磁铁不可逆退磁）

建议烘烤腔体的同时烘烤离子泵，降温至 150°C 以下后再开启高压

5. 日常监测

正常工作电流通常在 μA 级别。若电流在无漏气情况下持续攀升至 mA 级，可能是钛膜剥落短路或绝缘陶瓷污染。

六、售后维护

VacIon Plus 系列泵设计为免维护产品。在寿命到期或发生意外故障时，请联系艾禾真空进行维修。泵的抽气单元为可更换设计，可拆卸内部高压连接后通过进气口法兰取出更换，艾禾真空提供全面的技术支持，包括选型咨询、烘烤再生、内部清洗、高压馈入更换等服务。具体技术文档和操作手册可从安捷伦获取。