德国普发（Pfeiffer Vacuum）Hipace 300 高性能涡轮分子泵，是半导体专用超高真空泵分子泵。北京艾禾真空面向全国客户现货供应。该型号为标准工艺流程版本，进气口采用 DN 100 CF-F 金属密封法兰，氮气抽速最高可达 260 l/s，极限真空度低至 5×10⁻¹⁰ hPa，是半导体制造、科研实验、真空镀膜、分析仪器等领域实现超高真空环境的可靠之选。

标准工艺级超高真空泵・DN 100 CF-F 金属密封法兰・现货全国供应

德国普发（Pfeiffer Vacuum）Hipace 300 高性能涡轮分子泵，是半导体专用超高真空泵分子泵。北京艾禾真空面向全国客户现货供应。该型号为标准工艺流程版本，进气口采用 DN 100 CF-F 金属密封法兰，氮气抽速最高可达 260 l/s，极限真空度低至 5×10⁻¹⁰ hPa，是半导体制造、科研实验、真空镀膜、分析仪器等领域实现超高真空环境的可靠之选。

一、核心性能：超高真空度，均衡抽气表现

Hipace 300 作为普发 Hipace 系列中的标准工艺型号，兼顾抽速性能与极限真空能力，适配大多数工业与科研超高真空场景：

· 氮气抽速 260 l/s，氦气抽速 255 l/s，氢气抽速 220 l/s，氩气抽速 255 l/s，多气体抽速表现均衡

· 极限真空度可达 5×10⁻¹⁰ hPa，远超常规高真空泵水平，满足超高真空（UHV）级别工艺要求

· 氮气压缩比 1×10¹¹，氩气压缩比 1×10¹¹，氦气压缩比 1×10⁸，对轻重气体均具备出色压缩能力

· 整体泄漏率 1×10⁻⁸ Pa・m³/s，配合 CF-F 金属密封法兰，系统长期密封性有保障

· 干式抽气原理，无油无污染，确保真空腔体洁净，适用于对洁净度要求严格的工艺环境

得益于 CF-F（ConFlat-Flange）金属密封法兰设计，Hipace 300 的进气口采用铜垫圈面密封形式，相比橡胶密封法兰具备更高的耐温性、更低的放气率与更优的长期密封可靠性，是超高真空系统的标准接口配置。

二、集成驱动：TC 110 电子单元，智能高效

Hipace 300 标配 TC 110 集成电子驱动单元，将变频器、控制电路与保护系统全部集成于泵体内部，系统集成度高，安装接线简便：

· 24V DC 直流供电（±10%），最大功耗仅 180W，能效优异，运行成本低

· 额定转速 60,000 rpm，转速可在 35%–100% 范围内连续调节，灵活匹配不同抽气负荷

· 冷启动时间仅 3.5 分钟，快速达到额定工作转速，提升设备开机效率

· 混合轴承技术，融合陶瓷球与润滑脂润滑方案，运转平稳、寿命持久

· RS-485 标准通信接口，支持远程参数设置与状态监控；可选 Profibus、DeviceNet、E74 等扩展接口，无缝接入各类工业自动化控制系统

· 多重保护机制：过温、过流、过载保护等有相应措施，保障泵体安全稳定运行

三、灵活安装，低噪运行

Hipace 300 DN100 CF-F 半导体专用超高真空泵分子泵在结构设计上充分考虑工业现场的多样化安装需求：

· 任意方向安装：立式、卧式、倒置均可正常运行，不受安装姿态限制，为设备集成提供极大自由度

· 自然对流冷却为标准配置，无需额外冷却附件即可满足常规工况；可选水冷或强制风冷方案，应对高负荷连续运行场景

· 水冷工况下冷却水流量仅需 50 l/h，水温适应范围 15–35°C，配套要求低

· 运行噪音 ≤ 50 dB (A)（符合 EN ISO 2151 标准），静音表现出色，实验室与洁净室环境友好

· 防护等级 IP44 / Type 12，具备基础防尘防溅能力，适应多种工业现场环境

· 泵体净重约 8.2 kg，结构紧凑坚固，便于搬运与安装

四、典型应用领域

Hipace 300 DN 100 CF-F 涡轮分子泵凭借均衡的性能参数与可靠的金属密封接口，广泛适用于以下领域：

· 半导体制造工艺：刻蚀、CVD/PVD 沉积、离子注入、晶圆检测等超高真空腔体

· 真空镀膜行业：磁控溅射、电子束蒸发、光学镀膜、硬质涂层设备

· 科研与高校实验室：表面科学分析、质谱仪、电子显微镜、同步辐射光束线

· 真空冶金与热处理：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空熔炼

· 分析仪器与检漏系统：残余气体分析仪（RGA）、氦质谱检漏仪高真空端

五、艾禾真空服务承诺：现货・质保・售后无忧

艾禾真空技术有限公司作为专业真空设备供应商，致力于为全国客户提供高效、可靠的真空设备采购与服务体验：

· 全国现货供应：常备 Hipace 300 系列库存，下单即可安排发货，省去进口等待周期，紧急项目优先出库

· 原厂正品保障：全部设备为普发原厂全新产品，随附出厂合格证、技术手册与质保文件

· 一年整机质保：自设备交付之日起提供 12 个月质量保证，非人为故障免费维修或更换

· 售后服务体系：专业技术团队全程支持，涵盖售前选型咨询、安装开机指导、故障排查维修与定期维护建议

· 一站式配套采购：配套前级干泵、真空测量规管、真空阀门、CF 法兰管件、铜垫圈等周边产品，满足整套真空系统搭建需求

无论您是设备集成商、生产制造企业还是科研院所，艾禾真空都能为您提供专业的产品方案与快速的交付保障。如需 Hipace 300 详细技术资料、报价与货期确认，欢迎随时联系我们的销售团队获取一对一服务。

北京艾禾真空技术有限公司 —— 专业真空设备供应商，品质可靠，服务到位。