普发HiPace 400分子泵金属密封超高真空，该机型搭载 TC 400 集成电子驱动单元，进气口采用 DN 100 CF-F 金属密封法兰，氮气抽速最高达 355 l/s，标配集成式高性能水冷系统，支持任意方向安装，是面向半导体制造、医疗设备、航天科研、绿色能源等领域的工业级超高真空核心设备,北京艾禾真空全国现货供应。

集成TC 400 驱动・DN 100 CF-F 金属密封・超高真空解决方案

普发HiPace 400分子泵金属密封超高真空，该机型搭载 TC 400 集成电子驱动单元，进气口采用 DN 100 CF-F 金属密封法兰，氮气抽速最高达 355 l/s，标配集成式高性能水冷系统，支持任意方向安装，是面向半导体制造、医疗设备、航天科研、绿色能源等领域的工业级超高真空核心设备,北京艾禾真空全国现货供应。

一、核心抽气性能：大抽速 + 超高极限真空

HiPace® 400 采用多级涡轮叶片优化结构，抽气能力全面均衡，尤其在轻质气体抽取方面表现突出，能够稳定实现XHV真空等级：

· 氮气抽速 355 l/s，氦气抽速 470 l/s，氢气抽速 445 l/s，氩气抽速 320 l/s，覆盖从轻质到重质全气体谱段

· 极限真空度 5×10⁻¹⁰ hPa，达到 XHV 入门水平，满足最严苛的本底真空要求

· 氮气压缩比 1×10¹¹，氩气压缩比 1×10¹¹，氦气压缩比 3×10⁷，氢气压缩比 4×10⁵，对工艺残留气体具备深度压缩能力

· 整体泄漏率 1×10⁻⁸ Pa・m³/s，配合 CF-F 铜垫圈金属密封，长期密封性可靠，无橡胶放气污染

· 额定转速 49,200 rpm，转速调节范围 60%–100%，可根据工艺气载灵活匹配输出功率

· 冷启动时间仅 2 分钟，快速达到额定转速，显著缩短设备开机抽本底周期

· 气载耐受能力：额定转速下氮气流量 6.5 hPa・l/s、氦气 20 hPa・l/s、氢气 14 hPa・l/s、氩气 3.5 hPa・l/s，适应持续工艺进气工况

· 氮气前级最大耐压 11 hPa，前级泵配置灵活度高

· 干式无油抽气原理，杜绝油蒸汽反向扩散，保障腔体洁净度，适用于分析仪器与精密镀膜工艺

二、TC 400 集成驱动：智能控制，工业级可靠性

HiPace® 400 标配 TC 400 集成电子驱动单元，将变频器、保护电路与通讯模块全部内置于泵体，系统集成度高、布线简洁：

· 48V DC 直流供电（±10%），最大电流 8.75 A，最大功耗 420 W，适配工业直流供电体系

· RS-485 标准通讯接口，支持远程启停、转速调节、状态读取与参数配置

· 可选扩展接口：Profibus、DeviceNet、E74 工业总线协议，无缝对接半导体产线、自动化设备 PLC 控制系统

· 混合轴承技术，高真空侧永磁悬浮轴承搭配前级陶瓷滚珠轴承，无接触磨损、运转寿命长

· 多重保护机制：过温、过流、过载、欠压保护齐全，设备运行安全可靠

· 外部电源包设计，驱动电子元件远离泵体热源，提升高温工况下的电控稳定性

· 允许最高径向磁场 6 mT，在带电镜、磁分析的设备环境中抗干扰能力强

· 防护等级 IP54 / Type 12，防尘防溅能力出色，适应半导体厂房、工业车间等复杂环境

· 运行噪音 ≤ 50 dB (A)（符合 EN ISO 2151），静音运行，实验室与洁净室友好

三、结构与冷却：集成水冷 + 全向安装

普发HiPace 400分子泵金属密封超高真空，在结构设计上充分考虑工业现场的多样化需求：

· 标配集成式高性能水冷系统，冷却水流量 100 l/h，水温适应范围 15–35°C，连续高负荷运行散热稳定

· 可选强制风冷方案，针对不便布置冷却水的场景提供替代冷却方案

· 支持任意方向安装—— 立式、卧式、侧装、倒置均可正常工作，不受设备腔体空间布局限制

· 进气法兰 DN 100 CF-F，金属密封超高真空标准接口；出气法兰 DN 25 ISO-KF / G 1/4" 螺纹，前级连接灵活

· G 1/8" 放气接口，便于系统停机后大气回填

· 整机重量约 17.5 kg，结构紧凑坚固，便于设备集成与现场维护

· 丰富的原厂配件体系，涵盖减振器、冷却套件、电源包、通讯模块、法兰转换件等，可按需扩展使用范围

四、七大领域广泛应用

凭借大抽速、超高真空度与工业级可靠性，HiPace® 400 DN 100 CF-F 适用于以下核心领域：

1. 半导体制造：LPCVD / 扩散、PECVD、ALD、PVD 沉积、离子注入、光刻技术、金属与高 K 蚀刻、氧化物蚀刻、Si Poly 蚀刻、剥离 / 灰化、Load Lock 与传输腔、检验与计量等全流程工艺腔体

2. 医疗设备：诊断成像系统、医用加速器、医用质谱仪，无油洁净真空保障医疗检测精度

3. 航天与运输：太空模拟、空间环境试验舱、卫星部件真空测试

4. 科研研发：超高真空实验平台、质谱分析、表面物理研究、材料科学

5. 科学仪器：各类质谱分析仪、表面分析设备、电子显微镜高真空端

6. 绿色能源：薄膜太阳能电池、燃料电池、氢能相关真空工艺

7. 工业气体：特种气体分装、高纯气体装瓶的真空处理环节

五、艾禾真空：现货供应 + 一年质保 + 全流程服务

北京艾禾真空技术有限公司深耕真空设备领域，建立了覆盖全国的供货网络与服务体系：

· 全国现货直发：HiPace® 400 常备库存，下单即可安排发货，省去进口漫长等待周期，紧急项目当日出库

· 原厂正品保障：全部设备为普发原厂全新产品，随附出厂检测报告、技术手册与质保文件

· 一年整机质保：自交付之日起提供 12 个月质量保证，非人为故障免费维修或更换

· 售后服务：专业技术团队提供售前选型计算、安装指导、开机调试、故障排查与定期维护建议，覆盖设备全生命周期

· 原厂配件齐全：TC 400 驱动单元、轴承组件、冷却套件、法兰密封件等备件常备库存，维修响应快速

· 一站式配套采购：配套前级干泵、真空规管、真空阀门、CF 法兰铜垫圈等周边产品，整套真空系统一站配齐

无论您是半导体设备厂商、医疗设备集成商、航天科研院所还是新能源企业，北京艾禾真空都能为您提供专业的真空设备解决方案与高效可靠的交付保障。如需 HiPace® 400 详细技术资料、报价与货期确认，欢迎联系我们的销售团队获取一对一服务。

北京艾禾真空 —— 您身边的专业真空设备供应商，品质可靠，服务到位。