安捷伦 VacIon Plus 75 StarCell 离子泵（无加热款）产品介绍

75L/s 三极 StarCell 结构・超高洁净 XHV 无振动离子泵

安捷伦中型离子泵不带加热器VacIon Plus 75 StarCell北京艾禾真空全国现货供应，作为中型超高真空专用离子泵，本机氮气抽速 75L/s，搭载安捷伦专用技术 StarCell 三极抽气单元，在同等紧凑机身下实现大腔体高效抽气，极限真空低至 1×10⁻¹¹ mbar，无活动部件、低磁场、极低漏电流，适配高能物理、电镜、表面分析、超导设备等严苛超高真空场景。整机原厂全新现货，配套一年整机质保与全流程技术支持，为各大科研院所、仪器厂商提供稳定真空核心设备。

一、产品整体简介

安捷伦中型离子泵不带加热器 VacIon Plus 75 是面向 UHV/XHV 超高中型离子泵，本款为不带加热器 StarCell 三极版本，机身尺寸与同系列 40L/s 机型保持一致，抽速提升至 75L/s，兼顾紧凑安装空间与大腔体抽气需求。核心搭载安捷伦原创 StarCell 三极抽气单元，对氢气、氦气、氩气等惰性气体拥有行业顶尖抽气容量，解决普通二极泵难以捕获稀有气体的痛点。出厂经过 400℃以上高温真空烘烤、真空封止处理，出厂洁净度拉低，无需现场长时间除气；标配 6 英寸 ConFlat 非旋转主法兰，预留 2.75 英寸辅助 CF 接口，高压接头支持多规格选型，可搭配光学挡板、磁屏蔽等配件，系统集成自由度高。无需内置加热器，适配无需高温烘烤的洁净真空腔体，广泛用于学术科研、高能物理、精密分析仪器等高灵敏度设备。

二、九大核心产品特性

1. 多抽气单元可选，StarCell 三极适配稀有气体 可自由选用 StarCell 三极、Diode 二极、Noble Diode 改良二极、SEM 专用阳极四种抽气结构。本次 StarCell 型号依托星形阴极设计，大幅提升氩、氦等惰性气体捕获效率，氢气抽速表现优异，甲烷等气体耐受容量更高。

2. 标准化 CF 法兰，多规格高压接头可选 进气采用 6 英寸 ConFlat 不可旋转法兰，额外预留 2.75 英寸 CF 备用孔；高压真空接头提供 Fischer、SHV、King、DESY、Varian 多种型号，接头安装方向可定制，适配各类离子泵控制器接线布局。

3. 全无活动部件，零振动干扰 整机无转子、轴承等运动结构，运行全程无振动，不会干扰电镜成像、探针台、精密测量设备，是对振动零容忍超高系统的标配。

4. 极低漏电流，真空读数精准稳定 内部阳极精密优化，杂散漏电流控制在极低水平，离子流与真空度线性度优异，可直接充当内置真空计，实时精准读取腔体压力。

5. 低磁场设计，降低电子设备干扰 内置磁屏蔽基底，泵体外泄磁场大幅削弱，不会影响电子束、离子束、超导线圈等精密元件工作，适配 SEM、TEM、FIB 等电镜设备。

6. 出厂高温真空预处理，洁净度达标 泵体出厂前完成 400℃以上高温真空除气，真空环境下密封封存，运输无杂质污染，上机抽本底速度快，缩短设备调试周期。

7. 高度定制化设计，适配多元工况 可按需定制泵体外形、备用开孔、高压接头方位、抽气单元排布，可选光学挡板、外部独立加热器、屏蔽磁体等拓展配件，满足特殊腔体集成需求。

8. SEM 专用阳极方案可选，电子干扰最小化 同系列配套 SEM 专用阳极版本，通过减少空腔、钝化金属尖刺抑制漏电流，进一步降低电子噪声，适配各类电子光学设备。

9. 支持专属定制测试程序，匹配特殊工艺 可根据用户腔体气体、压力循环需求，定制专属运行测试程序，长期稳定匹配专属实验工况。

三、完整性能技术指标

1. 核心运行参数 氮气标称抽速 75L/s；极限真空＜1×10⁻¹¹ mbar；最大启动压力≤5×10⁻² mbar；最高允许烘烤温度 350℃（本款无内置加热器，仅支持外部烘烤）。

2. 单元寿命参数 StarCell 三极单元标准使用寿命 80000 小时；Diode 二极单元使用寿命 40000 小时，长期运行维护周期长，降低停机损耗。

3. 结构与重量 进气法兰 6 英寸 CFF（NW100），备用 2.75 英寸 CF 孔；不含加热器裸泵自重 19kg（42lbs）；高压接头标配 Fischer/SHV 两种选型。

4. 加热配套说明 本机为无加热器版本，加热器电压 100-120/200-240V、功率 250W 为选配外置组件，如需高温烘烤可单独加装外部加热套件。

四、核心抽气单元工作原理

1. 二极 Diode 离子泵原理

由钛阴极与阳极环组成，腔体磁场约束电子形成等离子体，气体分子电离后，轻离子穿透钛阴极，重离子轰击阴极溅射钛膜；氢气、氧气等活性气体与溅射钛发生吸附反应实现持续抽气，但对氩、氦等惰性气体捕获能力薄弱。

2. StarCell 三极核心原理（本机标配）

安捷伦原创星形三极结构，增设独立星形钽阴极，专门解决惰性气体抽除难题。氩、氦等中性高能粒子可被星形阴很高效捕获，同时钛阴极维持氢气超高抽速，兼顾活性气体与稀有气体处理能力，是多气体混合腔体靠谱选择。

3. SEM 专用阳极优化原理

采用平滑阳极结构，消除腔体尖角、金属晶须，减少杂散漏电流，降低离子流噪声，真空测量精度大幅提升，避免电子束设备成像失真。

五、主流应用场景

1. 高能物理与大型科研装置 同步辐射光束线、粒子加速器、低温真空试验舱、引力波探测平台、聚变实验超高腔体，多稀有气体共存工况推荐 StarCell 型号。

2. 电子光学精密仪器 扫描电镜 SEM、透射电镜 TEM、聚焦离子束 FIB、XPS/AES 表面能谱仪，低振动、低磁场、低噪声特性保障成像与检测精度。

3. 薄膜与新材料研发 超高真空镀膜、分子束外延 MBI、超导材料制备、低温探针台，长期稳定维持 XHV 本底真空。

4. 高校实验室真空平台 表面物理、催化实验、吸附动力学、质谱分析超高腔体，适配多元气体实验循环。

5. 航天与特种装备 空间环境模拟舱、卫星部件真空检漏、特种电子器件无尘超高真空封装。

六、艾禾真空供货与全流程售后保障

北京艾禾真空深耕超高真空设备供应，安捷伦 VacIon Plus 75 StarCell 无加热器离子泵全国常备现货，无需进口漫长排期，紧急科研项目可当日出库配送。

1. 原厂正品保障 全部设备为安捷伦设备，附带原厂出厂真空检测报告、尺寸图纸、安装手册，无翻新、拆机品。

2. 整机一年质保 设备交付起提供 12 个月整机质保，非人为损坏的抽气单元、高压接口、泵体密封免费检修更换。

3. 一站式专业技术服务 售前提供腔体匹配选型、法兰对接方案；到货远程指导安装、烘烤、控制器搭配调试；使用阶段远程故障排查，现场技术支持按需上门。

4. 全系列配套物料库存充足 常备 CF 铜垫圈、高压线缆、4UHV 四通道离子泵控制器、光学挡板、外置加热器、磁屏蔽等全套配件，整套真空系统一站式配齐。

5. 长期维保支持 质保期满后提供原厂级维修、单元更换、真空复烤服务，大幅延长泵体使用寿命，降低科研设备运维成本。

无论是高校重点实验室、航天科研院所、电镜设备厂商还是薄膜研发企业，艾禾真空均可提供完整超高真空成套解决方案，如需详细参数图纸、精准报价、配套控制器搭配方案，欢迎联系销售团队一对一咨询。