大抽速Edwards爱德华涡旋干泵nXDS20i定位中真空区间，覆盖大气压至 1×10⁻³ mbar 粗 / 中真空工况，搭载集成变频驱动与 DX 智能通讯系统，标配 ATEX Ex II 3 G IIC T4 Gc 防爆认证。整机强制风冷、结构紧凑，搭配 DN25 ISO-KF 标准进出气法兰，针对大型真空腔体、多腔联动系统、批量镀膜产线等高抽气需求场景量身打造。

一、产品整体简介

大抽速Edwards爱德华涡旋干泵是英国爱德华 Edwards nXDS20i 是 nXDS 全系列中抽速规格最大的新一代全干式涡旋真空泵，全面迭代升级传统 XDS 旧款机型，在抽气流量、极限真空、能耗、噪音、蒸汽耐受五大维度实现全面优化，可替代传统中小型油封旋片泵。设备采用一动一静双螺旋涡旋正排量压缩结构，真空腔体全程无润滑油介入，从根源杜绝油蒸汽返流污染腔体，无需废油处理，绿色环保，是洁净真空场景的核心前级设备。 本机定位中真空区间，覆盖大气压至 1×10⁻³ mbar 粗 / 中真空工况，搭载集成变频驱动与 DX 智能通讯系统，标配 ATEX Ex II 3 G IIC T4 Gc 防爆认证，适配存在易燃易爆工艺气体的内部腔体工况。整机强制风冷、结构紧凑，搭配 DN25 ISO-KF 标准进出气法兰，针对大型真空腔体、多腔联动系统、批量镀膜产线等高抽气需求场景量身打造。同系列细分 6i/10i/15i/20i 四款梯度机型，nXDS20i 凭借 22 m³/h 超大抽速，成为大容积真空系统经常选的前级泵。北京艾禾真空全国现货供应标准款整机，同步配套原厂配件，提供一整年整机质保与全流程专业技术售后服务。

二、核心技术优势

1. 无油密封结构，杜绝交叉污染 整机真空流路与轴承腔体隔离，无贯通轴封，润滑油无法渗入真空侧，质谱、电镜、薄膜腔体不会出现油膜、基线漂移等污染问题，省去定期换油、废油处置成本，长期运行洁净稳定。

2. 超大抽速 + 优异蒸汽处理能力 氮气抽速高达 22 m³/h，腔体抽本底速度大幅提升；标配气镇阀，最大水蒸气处理量 220 g/h，可稳定抽取水、稀酸碱、有机溶剂冷凝蒸汽，适配冻干、旋转蒸发、湿式化学工艺。

3. 低噪低耗变频智能驱动 运行噪音仅 52 dB (A)，振动幅值极低，可紧邻精密检测仪器摆放；极限真空工况功耗仅 260 W，大气压满载运行 730 W，待机模式低至 250 W，宽电压自动适配 100–127/200–240 V 全球市电，50/60Hz 自适应。

4. ATEX 防爆合规，危险腔体可用 整机持有 Ex II 3 G Ex h IIC T4 Gc 防爆认证，适用于腔体内部存在氢气、乙炔等易燃易爆气体的工艺环境，满足化工、氢能、特种镀膜安全规范。

5. 全链路智能远程控制 搭载 DX 专属通讯协议，机身集成 USB、RS232、串口多接口，支持本地按键启停、远程调速、运行时长读取、故障报警上传，可无缝对接 PLC 自动化产线，适配无人值守实验室。

6. 长维护周期，现场简易维保 全新高分子端部密封材质大幅延长耗材更换周期，单侧开放式涡旋结构，仅基础工具即可完成拆解保养，停机维护时长大幅缩短。

三、完整技术指标

为方便不同腔体容积、真空度需求客户选型，nXDS 四款核心机型参数与适用场景清晰区分：

1. nXDS6i（6.2 m³/h，22 kg）：微型仪器内置、小型台式质谱、单腔体实验室设备，空间紧凑场景专用；

2. nXDS10i（11.4 m³/h，23.7 kg）：中型分析仪器、常规实验室通用真空，高校小型实验台标配；

3. nXDS15i（15.1 m³/h，25.2 kg）：追求超高极限真空（0.7 Pa），分子泵机组、高精度氦检设备前级配套设备；

4. nXDS20i（22 m³/h，25.6 kg）：系列最大抽速，适配大型镀膜机、多腔体负载锁、批量产线、高能物理大光束线，腔体容积大、抽气时效要求高场景优先选用，大抽速Edwards爱德华涡旋干泵。

选型建议：若腔体容积大、多工位同步抽空、产线连续生产，优先 nXDS20i；若对本底真空要求很高、腔体容积偏小，选择 nXDS15i。同时可按需选配子型号：R 盲堵气镇款用于稀有气体回收，C 型 Chemraz 全氟密封款适配酸碱腐蚀蒸汽工况。

五、全行业典型应用场景

1. 科研与精密分析仪器

SEM/TEM 电子显微镜、GC/LC/ICP 质谱仪、表面分析设备、同步辐射光束线、高能物理粒子加速器，作为涡轮分子泵配套前级，无油环境保障成像与检测精度。

2. 薄膜镀膜与工业真空

磁控溅射、光学蒸镀、装饰镀膜设备、多腔体 Load Lock 传输腔、半导体脱气 / 硫化工艺，大抽速快速恢复腔体真空，提升产线节拍。

3. 化工与生物实验室

冷冻干燥机、旋转蒸发、溶剂萃取回收、凝胶干燥、真空烘箱，高效抽取水汽与有机挥发物，气镇结构防止冷凝介质损伤泵体。

4. 氦检与气体循环系统

氦质谱检漏仪配套前级、氦 / 氩稀有气体回收、激光循环气路，R 型子型号可杜绝外界空气稀释示踪气体，降低运营耗材成本。

5. 新能源与特种制造

氢能管路检漏、燃料电池腔体、光伏硅片镀膜、真空热处理炉，ATEX 防爆版本适配含氢易燃易爆工艺内部环境。

六、艾禾真空全国供货与售后保障

北京艾禾真空作为爱德华正规现货合作渠道，nXDS20i 标准款、R 气体循环款、C 耐腐蚀款长期现货储备，全国物流直达，科研院所、工业产线紧急备件可当日出库发货。

1. 原厂正品保障：全部为英国原装全新整机，附带出厂真空性能检测报告、原厂操作手册、全套合规认证文件，无翻新、拆机设备；

2. 一年整机质保：设备交付当日起提供 12 个月整机质保，泵体、变频驱动、通讯模块非人为故障免费检修更换；密封件、端部耗材为消耗品，平价供应原厂替换套件；

3. 一站式专业技术服务：售前根据腔体容积、工艺气体、腐蚀 / 防爆需求匹配对应子型号；到货远程指导管路装配、通讯接线、远程控制调试；日常线上故障快速排查；

4. 全套配套物料常备库存：DN25 密封垫圈、原厂电源线、气镇配件、减振底座、远程通讯数据线、ATEX 配套辅材随时出库；

5. 长效维保支持：质保期满提供整机深度清洁、密封件更换、真空性能复测校准服务，最大限度缩短设备停机周期。

无论高校科研院所、第三方检测实验室、光学薄膜厂商、氢能设备企业还是半导体设备集成商，艾禾真空均可提供成套干式真空系统一站式配套方案，如需 nXDS20i 尺寸图纸、性能曲线、成套机组报价，可联系销售团队获取一对一专属技术咨询。