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产品简介
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| 品牌 | Pfeiffer Vacuum/普发 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 旋片泵 | 产品类型 | 有油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,制药/生物制药,综合,半导体 |
普发Duo11MC双级油润滑旋片真空泵产品介绍
一、产品概况
普发双级油润滑旋片真空泵(Duo11MC) 属于普发 DuoLine 系列,是 Duo11 的磁耦合耐腐蚀衍生型号。集成气镇阀与进气安全阀,能够抽除水蒸气。结构紧凑,多用于涡轮分子泵、氦质谱检漏仪的前级真空,适配分析仪器、真空镀膜、科研实验室等中低真空场景,可应对轻度腐蚀性气体工况。
二、所属系列概况
MC 系列泵适用于腐蚀性气体的抽出。与标准泵相反,它们 具有特殊的气镇阀, 惰性气体可通过该阀进入泵体。此外, 该泵配备了特殊的旋片,该旋片尤其耐化学腐蚀。 MC 系列 中所有腐蚀性气体泵可用于使用耐化学腐蚀的 F4 或 F5(全 氟聚醚)工作液的操作。 Duo MC 系统泵尤其适合于抽出有毒气体,因为密封严格的磁耦合可防止气体的泄漏。
三、核心参数(参考Duo11M)
Ø 极限压力:3・10⁻³ hPa
四、 核心特点
1.属于 DuoLine 系列双级油润滑旋片真空泵,采用磁耦合密封 + 耐腐蚀 MC 专用版本,取消传统磨损式轴封,杜绝轴封漏油,减少轴封更换维护工作
2.内置气镇阀,具备良好的水蒸气耐受能力,可抽除可凝性蒸汽。
3.配备内置高真空进气安全阀,停机时防止气体返流,保护后端真空系统。
4.选用全氟聚醚 PFPE 专用泵油,适配腐蚀性气体抽取工况,抗腐蚀性能更强。
5.结构紧凑,单相通用电机,电压适配范围广,便于集成嵌入各类真空设备。
五、适用场景
1.真空检测领域:氦质谱检漏仪配套前级真空泵,真空泄漏检测系统。
2.分析仪器:质谱仪、电子显微镜等实验室分析设备前级真空获取。
3.镀膜工艺:CVD、各类表面防护镀膜等真空镀膜设备。
4.科研实验:实验室中小型真空系统、真空干燥、样品制备。
5.特殊工艺:可处理含轻度腐蚀性气体、水汽的中低真空工艺。
六、配套服务
北京艾禾真空技术有限公司可提供普发双级油润滑旋片真空泵选型方案、整机供货、真空管路配套、现场安装调试、故障检修、年度保养等一站式真空设备服务;可配套普发全系列分子泵、真空计、真空阀门,提供整套真空系统解决方案。