普发真空 Pfeiffer HiScroll 18 干式涡旋真空泵，常作为涡轮分子泵配套前级泵。采用气密式密封结构，可避免碳氢污染，内置止回阀，有效防止气体回流。搭载智能温控与待机节能模式，低振动低噪音，机身结构紧凑，元器件适配辐射工况。配备 AccessLink 智能接口，可拓展多种配件接入自动化真空系统，广泛用于质谱仪器、加速器实验、真空镀膜、半导体制程及各类实验室洁净真空系统。

普发真空 Pfeiffer HiScroll 18 干式涡旋真空泵

一、产品概述

   普发真空 Pfeiffer HiScroll 18 干式涡旋真空泵，采用气密式密封结构，三相电机驱动，防护等级 IP44，标配 ATEX 防爆认证，面向高气体负载、具备辐射风险等严苛工业工况，常作为涡轮分子泵配套前级泵使用，运行安静、振动低、结构紧凑。

二、技术参数

三、产品核心特点

1.全干式无油结构，无碳氢污染，气密波纹管密封，隔绝内外气体互通；出口内置止回阀，停机后防止气体回流，保护腔体真空稳定，避免氧等杂质污染工艺腔。

2.智能温控散热，内置温度传感器，风扇随气体负载、环境温度调速，发热控制优异，能耗相比传统涡旋泵大幅降低，运维周期长、运行成本低。

3.低振动、低噪音，紧凑机身，适配仪器内置安装；专门针对辐射环境优化元器件，适合加速器这类辐射场景。

4.AccessLink 统一智能接口，可搭配自动气镇阀、真空安全阀等配件；支持接入 OmniControl 控制器，联动分子泵自动化真空系统。

5.调速运行，自带待机节能模式，降低磨损，延长泵体使用寿命。

四、抽速图和尺寸图

五、应用领域

1.分析检测设备：质谱仪、真空检漏系统配套前级真空

2.科研高能装置：粒子加速器、辐射环境真空实验平台

3.真空镀膜工艺：光学涂层、功能薄膜制备前级抽气

4.半导体与精密制程：各类真空工艺、检测设备配套前级泵

5.实验室通用真空：各类需要洁净无油真空的实验室系统

配套、配件说明

电源电缆属于单独订购配件；可选配件：自动气镇阀、真空安全阀、压力传感器、总线通讯模块、减震组件，配件通过 AccessLink 接口即插识别。

六、关于我们

北京艾禾真空技术有限公司专注超高真空一站式解决方案，是集真空设备经销、售前技术咨询、售后维修保养于一体的专业科技企业。核心团队拥有近 20 年行业经验，配备专业销售与维修班组，代理普旭、普发、来宝、爱德华、安捷伦、世伟洛克、瑞士VAT等多个国内外真空品牌，提供设备经销、技术咨询、维保及定制化方案。服务覆盖清华北大等高校实验室、中科院科研院所、国家重点实验室，以及半导体、航空航天、电力电子领域企业，可满足高精度实验装置的严苛工况要求。

我司不仅提供真空泵的售卖，还提供配套维保服务，精通各类现场工况，可针对性修复真空性能、解决运行故障，为设备提供全周期维护保障；

1.备件更换服务：开展轴承、密封件等核心消耗件更换，恢复泵体原有真空性能。

2.故障维修服务：针对轴承系统实施检修与配件更换，消除泵体异响、振动问题，恢复设备平稳运转。

3.泵体深度清洁服务：专业清理泵腔内粉尘与工艺沉积物，降低部件磨损，延长设备使用寿命。

4. 预防性保养服务：提供巡检，完成真空性能检测评估，提前识别潜在隐患，降低停机风险。

5. 技术支持服务：提供设备选型评估、现场安装指导、运行诊断，为客户真空工艺提供技术支撑。

6.售后响应保障：开通真空设备专属对接通道，及时响应维保咨询与故障报修，减少设备停机损失。