普发Pfeiffer HiPace 300涡轮分子泵，拥有混合轴承、Plus 以及 HiPace 300 M 磁悬浮版本，搭载 TC110/TC400 驱动单元，氮气抽速可达 260 l/s，支持任意方位安装，可选风冷、水冷。设备低振动低噪音，气体吞吐能力强，耐粉尘，工业总线接口齐全。可用于科研分析、半导体工艺、真空镀膜、电子束焊接等场景，磁悬浮版本更适配对振动要求严苛的精密设备。

普发Pfeiffer HiPace 300涡轮分子泵产品介绍

一、产品概述

普发Pfeiffer HiPace 300涡轮分子泵，分为混合轴承版本（HiPace 300 / HiPace 300 Plus）以及磁悬浮 HiPace 300 M 版本，搭载 TC110 或者 TC400 集成驱动电子单元，氮气标称抽速最高可达 260 l/s，支持任意方向安装，可选风冷 / 水冷方案；水冷版本可承载更大气体负载，耐粉尘工艺适应性强，兼顾超高真空工艺需求，是分析仪器、半导体、镀膜及工业真空场景的主流分子泵型号。

二、核心技术参数

补充：磁悬浮版本 HiPace 300 M 为五轴磁悬浮结构，无油、低振动、自带传感器校准，防护等级 IP54，适配对振动、磁场要求严苛的精密分析设备。

三、产品核心特点

1.混合轴承稳定可靠：采用混合轴承技术，轴承润滑方案优化，有效延长泵体使用寿命；磁悬浮版本无接触轴承，无润滑油污染风险。

2.低振动低噪音：搭载激光动平衡工艺，运行振动、噪声水平低，适配对振动敏感的精密检测、质谱分析设备。HiPace300 Plus 版本优化磁场控制，漏磁更低。

3.工艺适配性强：转子几何结构经过优化，气体吞吐能力优秀，耐粉尘，适合频繁循环的工艺工况；水冷机型支持更高气体负载，可适配腐蚀性气体定制版本（按需咨询）。

4.集成驱动、拓展灵活：驱动控制器内置，结构紧凑；最多可选配 4 组功能附件，放气阀、隔离阀等配件丰富；丰富工业总线接口，方便接入 PLC、真空控制系统。

5.安装自由度高：支持任意角度安装，不受腔体布局限制，方便设备集成、机柜配套与实验台布置。

四、抽速图

五、典型应用领域

1.科研分析：质谱仪、残余气体分析 RGA、实验室超高真空腔体、表面分析设备

2.半导体工艺：PECVD、PVD、离子注入、刻蚀、LPCVD 扩散、光刻配套真空系统

3.工业真空：电子束焊接、真空钎焊、热处理炉、镀膜设备、检漏系统、3D 打印真空舱

4.其他领域：氢能源检测、医学分析仪器、冶金真空、精密计量检测设备

六、关于我们

北京艾禾真空技术有限公司专注超高真空一站式解决方案，是集真空设备经销、售前技术咨询、售后维修保养于一体的专业科技企业。核心团队拥有近 20 年行业经验，配备专业销售与维修班组，代理合作日本岩田ANEST IWATA、维修普旭Busch、 普发Pfeiffer Vacuum、 莱宝Leybold、 爱德华Edwards、 安捷伦Agilent、 世伟洛克Swagelok、 瑞士VAT等多个国内外真空品牌，提供设备经销、技术咨询、维保及定制化方案。服务覆盖清华北大等高校实验室、中科院科研院所、国家重点实验室，以及半导体、航空航天、电力电子领域企业，可满足高精度实验装置的严苛工况要求。

我司不仅提供真空泵的售卖，还提供配套维保服务，精通各类现场工况，可针对性修复真空性能、解决运行故障，为设备提供全周期维护保障；

1.备件更换服务：开展轴承、密封件等核心消耗件更换，恢复泵体原有真空性能。

2.故障维修服务：针对轴承系统实施检修与配件更换，消除泵体异响、振动问题，恢复设备平稳运转。

3.泵体深度清洁服务：专业清理泵腔内粉尘与工艺沉积物，降低部件磨损，延长设备使用寿命。

4. 预防性保养服务：提供巡检，完成真空性能检测评估，提前识别潜在隐患，降低停机风险。

5. 技术支持服务：提供设备选型评估、现场安装指导、运行诊断，为客户真空工艺提供技术支撑。

6.售后响应保障：开通真空设备专属对接通道，及时响应维保咨询与故障报修，减少设备停机损失。