欢迎进入北京艾禾真空技术有限公司网站!
13811338535

产品简介
产品分类
相关文章
一、产品概述
普发HiPace 700分子泵是德国普发真空(Pfeiffer Vacuum,隶属于 BUSCH 集团)推出的高性能涡轮分子泵,主打大抽速、高气体负载适配、长寿命稳定运行,是工业、科研、半导体、分析仪器领域主流高 / 超高真空获取核心设备,整机结构紧凑、低噪音、安装灵活,配套完整原厂配件与通讯方案,适配各类前级泵组合搭建真空机组。艾禾真空提供普发分子泵现货,整机配套质保齐全。

二、普发HiPace 700分子泵核心技术特点
1. 高性能抽气设计 优化转子叶片几何结构,大幅提升气体负载处理能力;全工况高抽速,对氢气、氦气等轻质气体具备超高压缩比,兼容干泵、旋片泵等多种前级泵,高气体通量适配大出气量腔体工艺。
2. 长效可靠运行 搭载行业主流混合轴承技术,搭配优质长效轴承润滑介质,显著延长整机使用寿命,降低运维频次与停机成本,工业连续工况稳定性优异。
3. 安装与使用灵活 支持任意角度安装,不受设备布局限制;运行噪音仅 50 dBA(EN ISO 2151 标准);整机自重约 11.5kg,轻量化易装配,4 分钟快速完成启动加速,缩短抽气等待时间。
4. 丰富拓展与通讯能力 标配 RS-485、远程控制接口,可选配 Profibus、EtherCAT 等多种现场总线;原厂全套配件可选:电源套件、显示单元、安全放气阀、断电放气装置、减震器、各类法兰转接、电缆、安装支架等,适配不同设备集成需求。
5. 标准法兰接口 进气口支持 DN160 ISO-K/ISO-F/CF-F 多种法兰;排气口 DN25 ISO-KF,辅助 G1/4" 接口,兼容超高真空、工业真空不同密封标准。
三、关键技术参数
1. 各气体抽速
· N₂(氮气):685 l/s
· Ar(氩气):665 l/s
· He(氦气):655 l/s
· H₂(氢气):555 l/s
2. 极限压缩比
· N₂/Ar:1×10¹¹
· He:3×10⁷
· H₂:4×10⁵
3. 极限气体通量(额定转速下)
· N₂:6.5 hPa·l/s
· H₂:14 hPa·l/s
· He:20 hPa·l/s
· Ar:3.5 hPa·l/s
4. 工况与物理参数
· 氮气前级真空:11 hPa
· 启动加速时间:4 min
· 运行噪音:50 dBA
· 整机重量:约 11.5 kg
· 标准通讯:RS-485、远程控制
· 安装方式:任意姿态安装
四、主流应用场景
1. 半导体与镀膜工业 PVD/CVD 薄膜沉积、光学镀膜、光伏镀膜、LED 芯片退火炉、硬质涂层制备、MBE 分子束外延设备,稳定提供工艺所需高真空环境,抑制工件氧化、提升薄膜品质。
2. 科研与粒子加速器 加速器质谱 AMS、医用重离子加速器、等离子体研究、纳米材料实验、核物理装置,超高真空保障离子束稳定传输,避免粒子散射损耗。
3. 分析检测仪器 各类质谱仪、表面能谱分析、残余气体分析仪、氦检检漏设备,轻质气体高压缩比可获得极低残余本底,提升检测精度。
4. 通用工业真空 电子束焊接、真空热处理、灯管 / 器件封装、工业检漏、真空腔体隔离,适配大出气量工件连续生产工况。
五、供货与售后保障
北京艾禾真空现货供应普发 HiPace 700 涡轮分子泵,普发分子泵现货,整机配套质保齐全,原厂全新整机全系列配套配件同步备货,交货周期短; 提供完整质保服务,包含设备安装指导、真空机组配套方案设计、故障检测、原厂维修保养一站式技术支持,覆盖设备全生命周期使用需求。
配套可选原厂配件清单:
电源适配器、主电缆、设备连接线、多规格现场总线模块、电源控制显示单元、安装支架、安全截止阀、真空放气组件、断电自动放气单元、减震阻尼器等。