普发涡轮分子泵真空机组 HiCube 80 Eco  DN63 CF-F产品介绍

一、产品概述

普发（Pfeiffer Vacuum）HiCube 80 Eco 是一款普发紧凑经济型超高真空泵组，由 HiPace 80 涡轮分子泵与 MVP 015-4 干式隔膜前级泵组合而成。该机组采用紧凑的台式设计，具备“即插即用"的便捷操作特性，是高真空及超高真空应用的理想解决方案。

本产品高真空接口为 DN 63 CF-F（金属密封法兰，符合 ISO 3669 标准），前级泵采用 MVP 015-4 干式隔膜泵，整机由艾禾真空全国供货，现货充足，并提供一年质保与完备的售后服务。

二、技术参数

该机组采用 HiPace 80 涡轮分子泵与 MVP 015-4 干式隔膜前级泵的黄金组合。HiPace 80 提供高达 67 l/s 的氮气抽速，配合 MVP 015-4 前级泵 0.75 m³/h 的抽速，可稳定实现 < 1 × 10⁻⁸ hPa 的极限真空。整机风冷设计，无需外接冷却水，极大简化了安装和使用条件。

关于 DN 63 CF-F 接口的优势：CF-F（ConFlat Flange）金属密封法兰是超高真空应用的标准接口，采用金属刀口与无氧铜垫圈配合实现密封-。相比 ISO-K 弹性体密封法兰，CF-F 接口具有更低的放气率、更高的耐烘烤温度（可达 400°C）和更优异的极限真空度，特别适用于对真空洁净度和本底真空度要求极为严苛的应用场景。

三、应用行业及场景

HiCube 80 Eco 凭借其出色的真空性能和紧凑灵活的设计，广泛适用于科研与工业领域的高真空及超高真空应用。

科研与实验室领域：

研发与实验室应用：适用于各类科研机构的基础研究和实验验证

分析与表面物理学：为表面分析、光谱学等精密分析仪器提供稳定的高真空环境

红外原位分析平台：广泛应用于物化、环境、能源和医药科学等新材料新物质反应机理研究-

低温阻抗测试：分析电子元器件在低温真空环境下电阻的变化-

低温真空探针台：应用于半导体行业、光电行业、集成电路及封装的低温测试

工业与工艺领域：

真空工艺技术：适用于真空镀膜、真空排气台等工艺过程

加速器：为粒子加速器提供必要的高真空条件

检漏应用：适用于各类真空系统的检漏检测

真空管式炉：用于元素分析测定及新材料加热处理

医疗导管抽真空：成功应用于医疗绝热导管的抽真空工艺

小镀膜系统：适用于小型真空镀膜工艺

灯管生产：应用于灯具制造行业的真空工艺此外，HiCube 80 Eco 还可广泛应用于气体分析、残余气体分析、真空炉、低温恒温器抽真空等场景-。

四、产品特点

1. 即插即用，紧凑设计

普发紧凑经济型超高真空泵组HiCube 80 Eco 采用高度集成的整机设计，出厂前已完成全套装配与测试，用户收到后可直接连接电源和真空腔体即可投入使用。整机重量仅 17 kg，体积小巧，可灵活放置在实验台或集成于设备机柜中。搭配 DCU 002 显示控制单元，可实现泵组的便捷操作与真空度的实时监测。

2. 全干式无油真空，洁净可靠

前级泵配备 MVP 015-4 干式隔膜泵，整个抽气过程无需任何油类介质，保证系统获得清洁无油的真空环境。这对于半导体测试、表面分析、质谱分析等对真空洁净度要求高的应用尤为关键。

3. CF-F 金属密封，超高真空性能

DN 63 CF-F 金属密封法兰接口使该机组能够实现 < 1 × 10⁻⁸ hPa 的极限真空，远超 ISO-K 接口机组的 < 1 × 10⁻⁷ hPa。CF-F 接口可耐受高温烘烤，适用于对极限真空度和系统本底要求极为严格的应用场景。

4. 风冷设计，维护简便

机组采用空气冷却方式，无需外接冷却水系统，大幅降低了安装成本和运行复杂度。同时，模块化的结构设计使得日常维护和保养更加便捷。

5. 灵活配置，扩展性强

HiCube Eco 系列因其模块化构造而具有丰富的组合可能，可连接各种涡轮泵和前级泵，适配高真空和超高真空领域的所有应用要求。该机组可搭配 Pfeiffer 真空计共同使用，并支持数据存储功能，用户可根据具体应用需求选配不同型号的真空规和显示控制单元。

五、艾禾真空——您的信赖之选

艾禾真空作为专业的真空设备供应商，为全国客户提供普发 HiCube 80 Eco 涡轮分子泵真空机组（DN 63 CF-F / MVP 015-4）的现货供应。我们承诺：

全国供货，现货充足：产品库存充足，下单后可快速发货，最大限度缩短您的等待周期。

一年质保：提供自验收之日起一年的整机质量保证，让您采购无忧。

售后：拥有专业的技术支持团队，为您提供从选型咨询、安装调试到售后维护的全流程服务。