Pfeiffe普发干式无油涡旋真空泵（HiScroll ）为紧凑型干式无油涡旋真空泵。非接触涡旋盘压缩，无油返流，避免碳氢污染；IPM 电机，能效提升 50%。标配止回阀、气镇阀、RS-485，配 HiPace 分子泵。抽速 6.1 m³/h，气镇关闭极限 0.015 hPa，噪声 48 dB (A)。全系通过 ATEX/Semi S2/S8/cTUVus 认证，可选自动气镇、压力监测、耐腐版。

一、产品概述

Pfeiffe普发干式无油涡旋真空泵（HiScroll 6） 是普发 HiScroll 系列紧凑型全干式涡旋真空泵，依靠非接触涡旋盘实现干式压缩，全程无润滑油，不存在碳氢油蒸汽污染腔体。设备搭载 IPM 永磁同步电机，发热低、能效优异；自带内置止回阀，停机阻挡大气回流。标配 RS485 通讯，可与 HiPace、HiCube 涡轮分子泵联动组网。 机型分基础款、压力监测款、自动气镇款、全系标配ATEX 防爆款，是 DuoVane3 油式旋片泵的洁净替代前级方案，适配实验室精密检测与工业洁净真空工艺。

二、技术参数

• 名义抽速：6.1 m³/h（增压模式 7.2 m³/h）

• 极限压力：0.015 hPa（气镇关闭）；0.07 hPa（一级气镇开启）

• 运行噪声：48 dB (A)（EN ISO 2151）

• 供电电压：100–127 / 200–240 V AC（±10%），50/60 Hz 通用

• 额定转速：2500 rpm（变频可调 1000–3000 rpm）

• 进出气法兰：DN25 ISO-KF

• 工作环境温度：+5 ~ +40 ℃

• 重量：19 kg

  
  

三、尺寸图与抽速

核心结构：气密密封涡旋盘、内置止回阀、IPM 永磁同步电机；可选自动气镇、压力传感器。

三、产品核心亮点

1.全干式无油结构，无碳氢污染 干式涡旋压缩，无泵油、无油蒸汽返流，保护高真空腔体，适配质谱、氦检等对洁净度要求严苛的系统，规避油泵带来的腔体污染风险。

2.永磁同步电机，高效节能 能耗相比传统涡旋泵大幅降低，发热量小，搭配智能温控风扇，长期连续运行稳定，减少后期使用成本。

3.低噪音、低振动 运行噪音≤47dB (A)，振动微弱，可放置于实验台或仪器机箱内，不会干扰精密设备检测。

4.内置止回阀，保护后端设备 停机自动关闭阀件，阻挡大气倒灌，保护涡轮分子泵与真空腔体，降低意外工况的设备损坏概率。

5.支持通讯联动，多版本可选 标配 RS485 通讯，可与普发分子泵联动；智能接口实现配件自动识别；可选自动气镇、压力监测、ATEX 防爆版本，适配不同工况。

四、应用领域

1.高真空系统洁净前级泵：普发 HiPace、HiCube 涡轮分子泵配套，替代油旋片泵搭建无油高真空系统

2.分析仪器：氦质谱检漏仪、质谱仪、残余气体分析仪 RGA、扫描电镜

3.科研实验室：无油真空干燥、样品制备、材料表征实验

4.精密工业工艺：光学镀膜、3D 打印、灭菌、新能源电池材料测试

五、选型与使用提示

1.HiScroll6 为干式涡旋泵，适合洁净前级真空；不可抽取大量粉尘颗粒，粉尘工况前端务必加装进气过滤器，防止涡旋盘磨损。

2.抽取含水汽、可凝性气体，建议选配自动气镇版本，避免水汽凝结影响泵性能。

3.宽电压变频电机，50Hz/60Hz 转速基本恒定，国内 220V 50Hz 直接选用标准单相款。

4.维护简便，无需更换真空泵油，仅需按周期更换涡旋密封件，维护工作量远小于油式旋片泵。

可选配套配件：AccessLink 智能配件接口、OmniControl 控制器、进气粉尘过滤器、减震脚垫、KF 真空波纹管与法兰管件、通讯转换模块、涡旋密封维修包。

六、配套服务

北京艾禾真空技术有限公司提供Pfeiffe普发干式无油涡旋真空泵选型方案、整机供货、真空管路配套、现场安装调试、故障检修、年度保养一站式真空设备服务；可配套普发 HiPace 分子泵、真空计、真空阀门，提供整套无油高真空系统解决方案。