Pfeiffer普发全量程真空规（PKR 251）为皮拉尼与冷阴极复合全量程真空规，单规覆盖 5×10⁻⁹~1×10³ hPa，减少腔体开孔。倒置磁控管冷阴极结构，抗粉尘耐冲击，适配镀膜、半导体工艺。DN25 ISO-KF 法兰，拆电子模块可烘烤 150 ℃，配套质谱、扫描电镜、氦检漏与高真空镀膜设备。

普发真空 Pfeiffer PKR 251 全量程真空规产品介绍

Pfeiffer普发全量程真空规（PKR 251）是普发真空ActiveLine系列复合式全量程真空计，集成皮拉尼传感器+倒置磁控管冷阴极传感器，单支真空规即可覆盖从粗真空至高真空的宽范围压力测量，减少腔体开孔数量，简化真空系统集成。该款真空规结构坚固，抗粉尘、抗冲击能力强，广泛应用于工业镀膜、半导体、科研实验、分析仪器等高真空场景。

一、型号规格

普发真空PKR 251共3款标准型号，产品测量性能一致，仅连接法兰规格不同，标配FPM氟橡胶密封：

PT R26 000：PKR 251，DN 25 ISO-KF，FPM氟橡胶密封 （KF25 快装，小型真空设备）

PT R26 001：PKR 251，DN 40 ISO-KF，FPM氟橡胶密封 （（KF40 快装，拆装简便））

PT R26 002：PKR 251，DN 40 CF-F，FPM氟橡胶密封（CF 金属密封，高真空可烘烤场景）

图 1   DN25 ISO-KF               图 2   DN40 CF-F

二、工作原理

内置两套独立测量单元：皮拉尼传感器持续工作；当压力低于1×10⁻² hPa时，系统自动启动冷阴极传感器。两支传感器信号合并输出对数压力信号，实现量程自动切换，输出标准对数电压信号，便于接入PLC、真空控制器等上位设备。

三、技术参数

四、产品核心优势

1.单规全量程覆盖：一支真空规替代多支真空传感器，覆盖粗真空、中真空、高真空，减少腔体开孔，降低系统成本。

2.倒置磁控管冷阴极结构：机械结构坚固，对粉尘、冲击耐受度高，适配等离子工艺、工业连续生产工况。

3.传感器智能自动切换：皮拉尼持续监测压力，低压段自动激活冷阴极，防止冷阴极误起辉，延长传感器使用寿命。

4.标准化对数模拟输出，可直接适配普发TPG366、OmniControl 200真空控制器及通用PLC系统。

5.多种法兰可选：KF快拆法兰、CF金属密封法兰可选，FPM密封可耐受轻度腐蚀性工艺气体。

五、典型应用领域

1.半导体、光伏工艺设备，PVD/CVD薄膜镀膜设备

2.分析仪器：质谱仪、扫描电镜、表面分析设备

3.研实验室超高真空腔体、空间环境模拟装置

4.等离子体工艺、真空检漏设备

5.通用工业高真空成套设备

六、配套配件

普发TPG系列真空显示控制器、OmniControl 200控制单元、专用信号传输电缆。

七、使用注意事项

1.腔体烘烤前必须拆卸真空规的电子驱动模块，仅传感器探头最高可承受150℃烘烤。

2.出厂标定介质为氮气/空气，测量其他气体时，需要进行气体系数修正。

3.不适合强腐蚀、大量粉尘、无防护油汽污染工况。

八、配套服务

北京艾禾真空技术有限公司可提供Pfeiffer普发全量程真空规选型咨询、供货、安装指导、故障诊断及维保服务，搭配普发涡轮分子泵等真空组件，提供整套真空系统配套方案。