Pfeiffer普发真空一体化涡轮分子泵机组（HiCube Neo），分台式、立柜两种形态，分子泵抽速覆盖 80~800 l/s。可搭配 HiPace 标准或 300H 高压缩比分子泵，前级泵可选隔膜、涡旋、罗茨或旋片泵，兼顾洁净无油与工业重载工况。配 7 寸触摸屏，即插即用，内置 Web 远程监控。广泛配套质谱仪、扫描电镜、光学镀膜、科研超高真空腔体与检漏设备。

普发真空 Pfeiffer HiCube Neo 新一代一体化涡轮分子泵机组

HiCube Neo 是Pfeiffer普发真空一体化涡轮分子泵机组，作为 HiCube 系列产品，采用一体化即插即用设计，覆盖 80~800 l/s 宽抽速区间，可自由搭配 HiPace 系列分子泵与多种类型前级泵，分为紧凑型台式机型与大流量落地式机型，可实现高真空乃至超高真空环境，适配科研实验室、分析仪器、工业镀膜等多元化场景。

一、核心技术参数

图 1外形尺寸图（台式机）

图 2外形尺寸图（落地式机型）

二、产品核心优势

1.模块化灵活配置：用户可按需自由搭配 HiPace 标准分子泵或 H 系列高压缩分子泵；前级泵可选隔膜泵、涡旋泵、多级罗茨泵、旋片泵，干式无油方案、油式方案均可实现，兼顾实验室洁净工况与工业大负载工艺。

2.7 英寸彩色触摸屏，操作直观：一体化彩色触控面板，可直接查看泵转速、真空压力、温度、运行状态、故障代码，所有参数就地设置，上手简单。

3.内置 Web 网页远程监控：自带网页服务器，接入局域网后，电脑、手机浏览器即可访问泵组页面，远程监控、参数设置、导出运行日志，支持 OPC UA 协议对接上位机，便于产线自动化集成。

4.开放式维护结构：整机开放式框架设计，前级泵、分子泵、电气组件可快速拆装，维护检修时可直接接触内部核心部件，缩短停机检修时长。

5.即插即用：出厂完成整机联调，到货仅接电源与腔体管路即可投入使用，无需单独选配分子泵驱动器、单独搭建前级管路，快速搭建真空系统。

6.能待机功能：前级泵支持节能待机模式，在低气体负载待机状态降低能耗，适合长时间不间断运行的实验室、分析仪器设备。

7.两种机身形态可选：小巧台式机型适合实验室台面放置；落地大机型面向工业连续生产、大腔体真空炉、低温恒温器等高负载工况。

三、典型应用领域

1.分析仪器：质谱仪、扫描电镜、表面分析设备、残余气体分析 RGA 系统

2.科研领域：高校实验室超高真空腔体、等离子体物理实验、空间环境模拟装置

3.薄膜工艺：光学镀膜、样品 PVD 溅射、小型薄膜沉积实验

4.工业真空：真空检漏、低温恒温器、真空炉、电池材料测试、气体标定设备

5.医疗、制药、航天、高能物理相关真空实验与检测设备

四、配套可选配件

1.普发 PKR251、PKR361 全量程真空规，用于实时监测腔体真空压力，接入泵组控制系统

2.真空阀门、波纹管、密封组件、真空法兰配件

3.专用通讯线缆、数据采集模块

4.制化机架、减震底座

五、选型与使用提示

1.干式隔膜前级泵版本适合无油洁净要求，但不适合大量粉尘、强腐蚀、大量可凝蒸汽工况；工业重载场景推荐选用涡旋泵或罗茨泵前级配置。

2.H高压缩版本可实现超高真空，适合烘烤型 UHV 腔体；腔体烘烤作业前，真空规电子模块必须拆除。

六、配套服务

北京艾禾真空技术有限公司可提供Pfeiffer普发真空一体化涡轮分子泵机组选型咨询、整机供货、真空配套组件选型、现场安装调试、故障诊断、维修保养全周期服务，同时配套普发 HiPace 涡轮分子泵、PKR 系列真空规，为客户提供完整高 / 超高真空系统解决方案。