Pfeiffer 普发 HiPace 400 涡轮分子泵，氮气抽速 355L/s，对氢、氦轻质气体具备高压缩比，泵体支持任意方位安装。集成 TC400 驱动单元，自带自诊断，支持多种工业通讯接口；提供 ISO‑K、ISO‑F、CF‑F 多种进气法兰，CF 版本可用于 UHV 超高真空工况。需外接前级泵使用，维护便捷，可选耐腐蚀版本，广泛适配质谱、镀膜、半导体、科研腔体等超高真空应用场景。

一、产品概述

Pfeiffer 普发 HiPace 400 涡轮分子泵，属于 HiPace 经典系列。优化转子结构，氮气标称抽速 355 L/s，具备高气体通量、轻质气体高压缩比的特点，适配多种外接前级真空泵，泵体支持任意方位安装，自带 TC400 集成驱动控制器，广泛应用于分析仪器、镀膜、半导体、科研超高真空场景。

二、产品参数

三、产品特点

1.       混合轴承系统，兼顾坚固性与低振动，维护简单，可现场快速更换轴承组件。

2.       优化转子几何，气体吞吐量大，对氢气、氦气等轻质气体拥有很高压缩比。

3.       安装自由度高，可任意角度安装，适配设备狭小集成空间。

4.       集成 TC400 驱动电子单元，内置自诊断功能，支持远程监控转速、温度、运行状态。

5.       多个法兰版本可选：ISO-K、ISO-F、CF-F；CF 版本支持高温烘烤，用于 UHV 超高真空。

6.       可选耐腐蚀涂层版本，适配粉尘、腐蚀性工艺气体工况（HiPace400P 防尘版本）。

四、抽速图

五、配套前级泵选型要求

HiPace400无内置前级泵，需要外接前级泵

前级选型门槛：极限压力 ≤0.1 mbar，抽速≥6 m³/h（1.67 L/s），接口 DN25 KF。 推荐普发 DUO 系列油封旋片泵、MVP 干式膜片泵、HiScroll 干泵作为配套前级。

六、典型应用

·       质谱分析设备、表面分析仪器

·       真空镀膜（PVD）、电子束加工设备

·       半导体工艺、晶圆检测、刻蚀工艺

·       科研 UHV 超高真空实验腔体

·       医疗影像设备、医用加速器

·       空间研究、氦质谱检漏主机高真空系统

七、关于我们

北京艾禾真空技术有限公司专注超高真空一站式解决方案，是集真空设备经销、售前技术咨询、售后维修保养于一体的专业科技企业。核心团队拥有近 20 年行业经验，配备专业销售与维修班组，代理多个国内外真空品牌，提供设备经销、技术咨询、维保及定制化方案。服务覆盖清华北大等高校实验室、中科院科研院所、国家重点实验室，以及半导体、航空航天、电力电子领域企业，可满足高精度实验装置的严苛工况要求。

我司不仅提供Pfeiffer 普发 HiPace 400 涡轮分子泵的售卖，还提供配套维保服务，精通各类现场工况，可针对性修复真空性能、解决运行故障，为设备提供全周期维护保障；

1.备件更换服务：开展轴承、密封件等核心消耗件更换，恢复泵体原有真空性能。

2.故障维修服务：针对轴承系统实施检修与配件更换，消除泵体异响、振动问题，恢复设备平稳运转。

3.泵体深度清洁服务：专业清理泵腔内粉尘与工艺沉积物，降低部件磨损，延长设备使用寿命。

4. 预防性保养服务：提供巡检，完成真空性能检测评估，提前识别潜在隐患，降低停机风险。

5. 技术支持服务：提供设备选型评估、现场安装指导、运行诊断，为客户真空工艺提供技术支撑。

6.售后响应保障：开通真空设备专属对接通道，及时响应维保咨询与故障报修，减少设备停机损失。