安捷伦 VacIon Plus 40 StarCell离子泵，氮气抽速 27L/s。无运动部件，运行零振动、无油无污染，漏电流低，可保护 SEM 电子枪等精密组件。极限压力可达 10⁻¹¹ mbar，出厂经过高温真空烘烤，洁净度高。配备 DN40 CF‑F 法兰，支持多种高压馈通件选配，便于系统集成，广泛应用于扫描电镜、表面分析、科研高能物理等

一、产品概述

安捷伦 VacIon Plus 40 StarCell离子泵，属于 VacIon Plus 系列，适用于通用 UHV 超高真空、XHV系统，广泛用于扫描电镜 SEM、为中型超高真空离子泵，属于 VacIon Plus 系列，适用于通用 UHV 超高真空，广泛用于扫描电镜 SEM、真空电子器件、学术科研、高能物理 HEP 装置。StarCell 阳极结构，可提供稳定真空、低漏电流，保护 SEM 电子枪等核心精密部件；泵体无运动部件，无振动、无油、免维护，适合对震动极其敏感的超高真空场景。可选择多种高压馈通件，方便真空系统集成。

二、核心参数

三、尺寸图

四、抽速与压力关系

五、产品特点

1.                      StarCell 阳极单元，兼顾惰性气体抽除能力、更长寿命、更高启动压力；

2.                      无运动部件，运行零振动，适配电镜、表面分析等对振动敏感设备；

3.                      低漏电流，真空读数稳定；低外磁场，降低对电子光学系统干扰；

4.                      出厂前＞400℃真空烘烤封离，洁净度高，开箱即可接入超高真空系统；

5.                      丰富选配：额外 CF 端口、多种高压馈通接口，支持定制化集成；

6.                      无油设计，无碳氢污染，保障超高真空腔体洁净度。

六、典型应用

适用于通用超高真空（UHV）、XHV系统：

·       扫描电子显微镜（SEM），保护电子枪核心组件

·       表面分析设备、聚焦离子束系统（FIB）

·       真空电子器件

·       科研实验、高能物理装置、粒子加速器、同步辐射光源

·       医疗影像设备、医用直线加速器真空单元

七、关于我们

北京艾禾真空技术有限公司专注超高真空一站式解决方案，是集真空设备经销、售前技术咨询、售后维修保养于一体的专业科技企业。核心团队拥有近 20 年行业经验，配备专业销售与维修班组，代理多个国内外真空品牌，提供设备经销、技术咨询、维保及定制化方案。服务覆盖清华北大等高校实验室、中科院科研院所、国家重点实验室，以及半导体、航空航天、电力电子领域企业，可满足高精度实验装置的严苛工况要求。

我司不仅提供安捷伦 VacIon Plus 40 StarCell离子泵的售卖，还提供配套维保服务，精通各类现场工况，可针对性修复真空性能、解决运行故障，为设备提供全周期维护保障；