安捷伦Agilent IDP-3无油涡旋干泵，整机轻巧仅 9.5kg，适配仪器舱内置与 OEM 集成。可选 VPI 入口隔离阀，断电故障时快速阻断大气倒灌，保护上游高真空腔体。无油结构消除油气污染隐患，核心耗材尖封条可现场 15 分钟快速更换。除交流型号外， 24VDC 直流版本，运行低噪低振。作为 GC‑MS 气质联用的经典前级泵，同样适用于小型氦检、低温装置、科研小型洁净真空系统。

一、产品概述

安捷伦Agilent IDP-3无油涡旋干泵，采用双涡旋盘结构：一片涡旋盘围绕固定涡旋盘做公转运动，气体由外缘进入涡旋腔，向内逐步压缩，从中心位置排出，以此获得洁净真空。泵体采用密封隔离式结构，电机、轴承与真空流道隔离，轴承处于常压环境，既延长轴承寿命，又杜绝润滑油进入真空侧，实现真正无油真空环境。整机重量仅9.5 kg，结构紧凑，便于仪器舱内置、OEM集成，是气质联用质谱等小型高真空设备主流前级泵型号。

二、核心参数

三、核心特点

1.       无油洁净真空：无润滑油、无油雾排放，省去油封泵定期换油、废油危废处置工作，消除油气污染真空腔体、质谱检测器的风险，适合对碳氢污染敏感的分析仪器场景。

2.       可选内置入口隔离阀（VPI阀）：带阀版本为IDP‑3标志性配置；断电故障时阀门约25 ms快速关闭，阻断大气倒灌，保护上游分子泵与高真空腔体；上电后泵抽真空，阀门自动重新开启，属于故障安全型保护设计，阀集成在泵本体，不额外增加入口高度。

3.       维护简便快速：核心维护件为尖封条（tip seal）与O型圈，使用简易工具即可完成更换，标准维护操作约15分钟；维护流程洁净，不需要放油，停机维保时间短。

4.       低噪音、低振动：涡旋结构运行平稳，是同规格干泵里振动、噪声表现优异的型号，适合实验室、仪器柜内近距离使用。

5.       多电压版本可选：除常规单相交流款外，24 VDC直流版本，适配设备嵌入式集成、车载与小型自动化系统。

四、尺寸图

五、抽速图

订货型号区分

·                      裸泵（不带入口隔离阀）

·                      IDP3A01：单相 220 V，50/60 Hz

·                      IDP3B01：单相 115 V，60 Hz

·                      IDP3C01：单相 100 V，50/60 Hz

·                      IDP3D01：24 VDC

·                      带内置入口隔离阀版本

·                      IDP3A21：单相 220 V，50/60 Hz

·                      IDP3B21：单相 115 V，60 Hz

·                      IDP3C21：单相 100 V，50/60 Hz

·                      IDP3D21：24 VDC

·                      GC-MS成套替换套件：G6696A，专为安捷伦5973/5975/5977系列气质联用MSD配套，包含适配安装组件、24 V供电方案，直接替换原有油封前级泵

六、使用场景

1.       安捷伦597X系列GC-MS气质联用质谱，作为涡轮分子泵前级泵（最主流应用）

2.       实验室小型高真空系统、氦检配套前级、低温真空装置

3.       科研粒子束、小型镀膜、LED器件制程真空

4.       OEM仪器集成、小型通用实验室真空

温馨提示：不适合大量水汽、强腐蚀气体、易析出粉尘气体工况；处理水蒸气可额外选配安捷伦原厂气镇套件、吹扫套件

七、关于我们

北京艾禾真空技术有限公司专注超高真空一站式解决方案，是集真空设备经销、售前技术咨询、售后维修保养于一体的专业科技企业。核心团队拥有近 20 年行业经验，配备专业销售与维修班组，代理多个国内外真空品牌，提供设备经销、技术咨询、维保及定制化方案。服务覆盖清华北大等高校实验室、中科院科研院所、国家重点实验室，以及半导体、航空航天、电力电子领域企业，可满足高精度实验装置的严苛工况要求。

我司不仅提供安捷伦Agilent IDP-3无油涡旋干泵的售卖，还提供配套维保服务，精通各类现场工况，可针对性修复真空性能、解决运行故障，为设备提供全周期维护保障；

1.备件更换服务：开展轴承、密封件等核心消耗件更换，恢复泵体原有真空性能。

2.故障维修服务：针对轴承系统实施检修与配件更换，消除泵体异响、振动问题，恢复设备平稳运转。

3.泵体深度清洁服务：专业清理泵腔内粉尘与工艺沉积物，降低部件磨损，延长设备使用寿命。

4. 预防性保养服务：提供巡检，完成真空性能检测评估，提前识别潜在隐患，降低停机风险。

5. 技术支持服务：提供设备选型评估、现场安装指导、运行诊断，为客户真空工艺提供技术支撑。

6.售后响应保障：开通真空设备专属对接通道，及时响应维保咨询与故障报修，减少设备停机损失。