安捷伦Agilent/IDP-10无油涡旋干泵，采用变频驱动，电机轴承与真空气路相隔离，输出洁净真空，50Hz/60Hz 工况抽速保持一致。运行低噪低振，可选内置入口隔离阀，断电可阻挡大气倒灌保护上游器件。核心易损件可现场快速更换，维保便捷。抽速 10.2m³/h，极限压力 2.0×10⁻²mbar，适配气质联用、扫描电镜、氦检、手套箱等设备，可长时间连续运行，是分析仪器与科研实验理想的前级真空方

安捷伦Agilent/IDP-10无油涡旋干泵

一、产品概述

安捷伦Agilent/IDP-10无油涡旋干泵，采用变频驱动设计，依托涡旋机构公转压缩实现抽气。泵体将电机、轴承组件隔离于常压侧，与真空流道相互隔绝，从结构上杜绝润滑介质进入真空回路，持续输出稳定洁净真空。该机型在 50 Hz 与 60 Hz 工况下均可维持一致的标称抽速，是面向分析仪器与 OEM 集成场景的成熟前级真空方案，可长时间不间断连续运行。

二、核心特点

1.无油洁净真空输出：全程无润滑油参与气体压缩，消除油气返流污染真空腔体、精密器件的风险，无需定期更换泵油，省去废油危废储存、转运与处置环节。

2.变频驱动，抽速稳定：内置变频驱动单元，50 Hz、60 Hz 供电环境下全速抽速保持一致，同时支持远程抽速调控，适配系统集成的自动化控制需求。

3.可选集成入口隔离阀：阀体内嵌于泵体结构，不额外增加安装高度；断电或故障状态下快速关断，阻隔大气倒灌，保护上游分子泵与高真空腔体；供电恢复后随真空建立自动开启，具备故障安全防护能力。

4.运维简便，停机周期短：核心易损件为涡旋尖封条，仅需简易工具即可现场完成更换，整套维保作业可在 15 分钟内完成；在适宜工况下，尖封条拥有较长的使用寿命，降低长期运维投入。

5.低噪低振，适配精密环境：运行噪声 53 ±2 dB (A)，振动水平可控，无需额外配置隔音装置，适合实验室仪器间、机柜内部等近距离布设场景。

三、技术规格

货号：

X3810‑64000：IDP‑10 裸泵，不带入口隔离阀

X3810‑64010：IDP‑10，带内置入口隔离阀

G6697A：GC/QQQ 升级套件，搭载带阀 IDP‑10，配套软管、接头、安装辅件与安装手册，适配 7000、7010 系列三重四极杆气质联用系统

四、尺寸图

五、抽速图

六、标定应用场景

1.精密分析仪器配套：涡轮分子泵前级供给；三重四极杆气质联用系统配套；氦质谱检漏前级、氦气循环回收系统；桌面型扫描电镜样品制备单元。

2.实验室样品处理设备：实验室冻干系统、各类真空样品前处理装置。

3.科研与特种真空装置：手套箱真空回路、真空负载锁、小型真空镀膜装置、需要长期连续运行的科研真空腔体。

提示：若工况持续产生大量水蒸气，建议搭配原厂气镇套件或吹扫套件使用；腐蚀性气体工况需单独评估防腐配套方案。

七、关于我们

北京艾禾真空技术有限公司专注超高真空一站式解决方案，是集真空设备经销、售前技术咨询、售后维修保养于一体的专业科技企业。核心团队拥有近 20 年行业经验，配备专业销售与维修班组，代理多个国内外真空品牌，提供设备经销、技术咨询、维保及定制化方案。服务覆盖清华北大等高校实验室、中科院科研院所、国家重点实验室，以及半导体、航空航天、电力电子领域企业，可满足高精度实验装置的严苛工况要求。

我司不仅提供真空泵的售卖，还提供配套维保服务，精通各类现场工况，可针对性修复真空性能、解决运行故障，为设备提供全周期维护保障；

1.备件更换服务：开展轴承、密封件等核心消耗件更换，恢复泵体原有真空性能。

2.故障维修服务：针对轴承系统实施检修与配件更换，消除泵体异响、振动问题，恢复设备平稳运转。

3.泵体深度清洁服务：专业清理泵腔内粉尘与工艺沉积物，降低部件磨损，延长设备使用寿命。

4. 预防性保养服务：提供巡检，完成真空性能检测评估，提前识别潜在隐患，降低停机风险。

5. 技术支持服务：提供设备选型评估、现场安装指导、运行诊断，为客户真空工艺提供技术支撑。

6.售后响应保障：开通真空设备专属对接通道，及时响应维保咨询与故障报修，减少设备停机损失。