INFICON UL1000 Fab 氦质谱检漏仪，搭载 ULTRATEST™传感技术，适配半导体等高洁净工况，支持真空、嗅探双检漏模式。可选 iZERO 本底抑制功能，抗环境氦干扰，检测漏率可达＜5×10⁻¹² mbar・L/s。配备轮式移动机身，双铱钇涂层灯丝，内置标准漏孔可自动校准，兼容 PLC 接口便于接入自动化产线。干式泵结构杜绝油污污染，可用于真空零部件、光伏、平板显示器件气密性检测

INFICON UL1000 Fab 氦质谱检漏仪

一、产品概述

INFICON UL1000 Fab 氦质谱检漏仪搭载 ULTRATEST™ 传感技术，是半导体、工业真空领域干式氦检漏机型，主打高稳定性、干式无油、高性价比；干式泵结构可避免工件被碳氢油、微粒污染，适合洁净工艺场景，支持真空法 + 嗅探法两种检漏模式，可选 iZERO 本底抑制功能（2s 内快速压低氦本底，连续测试不受环境氦干扰）INFICON。

定位：半导体 / 洁净真空场景经济型干式氦检漏标准机型

二、产品规格

三、核心优势

1.抽气、响应速度快，缩短单件检漏节拍

2.iZERO 背景抑制（选装），减少重复测试，抗氦本底干扰

3.轮式紧凑移动机身，适合机台内部狭小维护空间

4.双铱钇涂层灯丝离子源，3 年质保，逆流真空系统，整机 TCO 低
5.可旋转显示屏、声光泄漏报警，支持 RC1000 有线 / 无线遥控器

6.内置标准校准漏孔、自动校准程序，维护简单

7.PLC 兼容 IO 接口，方便接入产线自动化系统

8.干式前置泵，无油污染风险，适配半导体洁净要求

四、订购型号（PN 码）

五、应用场景

1.对清洁度要求较高的工业真空设备制造业

2.工艺气体系统的检查和安装

3.半导体、平板显示器或太阳能电池制造业

4.真空零部件、子组件装配上机前的气密性检测

六、关于我们

北京艾禾真空技术有限公司专注超高真空一站式解决方案，是集真空设备经销、售前技术咨询、售后维修保养于一体的专业科技企业。核心团队拥有近 20 年行业经验，配备专业销售与维修班组，代理普旭Busch、普发Pfeiffer Vacuum、莱宝Leybold、爱德华Edwards、安捷伦Agilent、世伟洛克Swagelok、瑞士VAT等多个国内外真空品牌，提供设备经销、技术咨询、维保及定制化方案。服务覆盖清华北大等高校实验室、中科院科研院所、国家重点实验室，以及半导体、航空航天、电力电子领域企业，可满足高精度实验装置的严苛工况要求。

我司不仅提供真空泵的售卖，还提供配套维保服务，精通各类现场工况，可针对性修复真空性能、解决运行故障，为设备提供全周期维护保障；

1.备件更换服务：开展轴承、密封件等核心消耗件更换，恢复泵体原有真空性能。

2.故障维修服务：针对轴承系统实施检修与配件更换，消除泵体异响、振动问题，恢复设备平稳运转。

3.泵体深度清洁服务：专业清理泵腔内粉尘与工艺沉积物，降低部件磨损，延长设备使用寿命。

4. 预防性保养服务：提供巡检，完成真空性能检测评估，提前识别潜在隐患，降低停机风险。

5. 技术支持服务：提供设备选型评估、现场安装指导、运行诊断，为客户真空工艺提供技术支撑。

6.售后响应保障：开通真空设备专属对接通道，及时响应维保咨询与故障报修，减少设备停机损失。