INFICON UL1000 Fab 氦质谱检漏仪，搭载 ULTRATEST™传感技术，适配半导体等高洁净工况，支持真空、嗅探双检漏模式。可选 iZERO 本底抑制功能，抗环境氦干扰，检测漏率可达＜5×10⁻¹² mbar・L/s。配备轮式移动机身，双铱钇涂层灯丝，内置标准漏孔可自动校准，兼容 PLC 接口便于接入自动化产线。干式泵结构杜绝油污污染，可用于真空零部件、光伏、平板显示器件气密性检测